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壓縮空氣CDA（Clean Dry Air）在半導(dǎo)體行業(yè)中具有極其重要的地位，在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，微小的顆粒、水分或油分等污染物質(zhì)都可能導(dǎo)致器件的損壞或制程的不穩(wěn)定。CDA能夠提供高度純凈、干燥的氣體，從而保證了器件的可靠性和穩(wěn)定性。
在半導(dǎo)體生產(chǎn)線上，CDA不僅用于清洗和沖洗設(shè)備，也用于保持生產(chǎn)環(huán)境的清潔。它可以防止粉塵、微粒和水分進(jìn)入制程中，保證產(chǎn)品的質(zhì)量。
器件的性能受到環(huán)境中的雜質(zhì)和濕度的影響，因此CDA在半導(dǎo)體制程中是一個(gè)至關(guān)重要的環(huán)節(jié)。它保證了器件特性的可靠性和一致性。
在半導(dǎo)體制程中，許多工藝需要高溫環(huán)境，同時(shí)也需要高純度的氣體來(lái)避免器件的氧化和腐蝕。CDA在這方面發(fā)揮了重要的作用。
CDA的高質(zhì)量保證了生產(chǎn)過(guò)程的穩(wěn)定性，降低了制程中的變異性，從而提高了制程的良率。
依據(jù) ISO 8573 針對(duì) CDA 中會(huì)影響制程良率的各項(xiàng)重要指標(biāo)，提供安裝后及使用期間定期檢測(cè)之服務(wù)。
在進(jìn)行壓縮空氣CDA中壓縮氣體管路(P-CDA)的質(zhì)量檢測(cè)時(shí)，通常需要關(guān)注以下項(xiàng)目：
壓縮氣體純度：檢測(cè)壓縮氣體中是否含有不純物質(zhì)，如水分、油分、固體顆粒等。
壓縮氣體壓力：測(cè)量管路中的氣體壓力，確保它在制程中的要求范圍內(nèi)。
壓縮氣體流量：檢測(cè)氣體的流速和流量，以確保它滿足制程的需求。
管路泄漏檢測(cè)：查找和修復(fù)任何潛在的氣體泄漏，以確保沒(méi)有未經(jīng)授權(quán)的氣體流失。
管路材質(zhì)和連接檢查：檢查管路的材質(zhì)和連接部分，確保它們符合標(biāo)準(zhǔn)并不會(huì)導(dǎo)致污染或其他問(wèn)題。
壓縮氣體干燥度檢測(cè)：檢測(cè)壓縮氣體中的濕度水平，因?yàn)楦邼穸瓤赡軙?huì)對(duì)制程產(chǎn)生不利影響。
管路清潔度：確保管路內(nèi)部干凈，沒(méi)有沉積物或污垢，以防止污染。
安全性檢查：確保管路系統(tǒng)的所有安全設(shè)備和閥門(mén)正常工作，以防止?jié)撛诘奈ｋU(xiǎn)。
委托專業(yè)的壓縮空氣檢測(cè)機(jī)構(gòu)可以確保你的管路系統(tǒng)符合質(zhì)量和安全測(cè)試項(xiàng)目：
油份含量(總碳?xì)浠衔?分析
微粒子數(shù)分析 (0.1um ~10um )
水份及露點(diǎn)分析
微生物污染分析
CO / CO2 / NOx / SOx / H2S 含量分析
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